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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:凈化型勻膠機

  • 產(chǎn)品型號:CY-SPC4-SS-JH
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設備?。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作。
詳情介紹:

設備特點:

1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止

   勻膠過程中的雜質(zhì)污染。

2、 設置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。

3、可設置時間--轉(zhuǎn)速曲線,程序控制勻膠工藝

4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學無需專業(yè)學習

主要技術(shù)參數(shù):

勻膠時間

1-99 

勻膠轉(zhuǎn)數(shù)

0-8000轉(zhuǎn)/

操作區(qū)風速

0.3-0.5/(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠

凈化效果

100級(美國聯(lián)邦標準)

外形尺寸

650x750x1620mm 

外體顏色

亞白色

控制范圍和精度

轉(zhuǎn)速控制范圍為:500-8000轉(zhuǎn),精度為±3%

時間控制范圍為

1-99秒,精度為±5%

轉(zhuǎn)速調(diào)整

采用PID調(diào)節(jié),精度高

轉(zhuǎn)速查看智能化

可自動識別哪個電機開或關(guān),自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機上。可予先選定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉(zhuǎn)速


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