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  • R-PECVD?真空旋... R-PECVD真空旋轉(zhuǎn)等離子增強CVD設(shè)備由旋轉(zhuǎn)及傾斜機構(gòu)、單溫區(qū)管式爐、等離子發(fā)生機構(gòu)、質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)、高真空分子...
  • 雙溫區(qū)CVD系統(tǒng) 雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)由1200℃雙溫區(qū)管式爐、雙通道質(zhì)量流量計和低噪音雙極旋片真空泵組成。雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐的兩個溫區(qū)分...
  • 1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)... 1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密...
  • 1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)... 1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣低真空CVD系統(tǒng)由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控...
  • 1500℃單溫區(qū)3路浮... 1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控...
  • 1500℃單溫區(qū)3路浮... 1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控...
  • 1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)... 1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐三個溫區(qū)分別由精密...
  • 1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)... 1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣低真空CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐三個溫區(qū)分別由精密...
  • 1200℃雙溫區(qū)3路質(zhì)... 1200℃雙溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐兩個溫區(qū)分別由精密...
  • 1200℃雙溫區(qū)3路質(zhì)... 1200℃雙溫區(qū)3路質(zhì)量供氣低真空CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區(qū)分別由精密...
  • 1200℃雙溫區(qū)3路浮... 1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)管式爐和三路浮子流量計組成。管式爐兩個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨立控溫...
  • 1200℃雙溫區(qū)3路浮... 1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區(qū)分別由精密...
  • 1200℃三溫區(qū)3路浮... 1200℃三溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐三個溫區(qū)分別由精密...
  • 1200℃三溫區(qū)3路浮... 1200℃三溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐三個溫區(qū)分別由精密...
  • 1700℃兩路浮子供氣... 該管式爐可以用于抽真空和通氣氛，所以又叫真空管式爐和氣氛管式爐。爐管材質(zhì)采用高純氧化鋁,*高可在1650℃的高溫工作。為...
  • 1200℃三路供氣低真... 1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)采用高純石英制作爐管。旋轉(zhuǎn)裝置為風(fēng)冷法蘭，摩擦傳動，傾角（0-15°）任意可調(diào)。...
  • 1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)... 1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進行...
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