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- 環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備
- 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
一體式CVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊，使用方便。特別是豐富的圖文界面，即使您是**操作，該系統(tǒng)也能順利引導(dǎo)您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作，您根本無需專業(yè)學(xué)習(xí)，為您節(jié)省大量的科研時間，真正做到事倍功半！
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、豐富的圖文信息：全尺寸液晶圖文界面
2、系統(tǒng)高度集成：各個部分均由軟件協(xié)同進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出
3、可使實(shí)驗(yàn)步驟程序化、自動化
技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目
明細(xì)
供電電壓
AC220V，50Hz
MAX功率
5KW
加熱溫區(qū)
220mm+440mm+220mm
工作溫度
1100℃ （1200℃＜1h）
控溫精度
±1℃
升溫速率
建議≤10℃/min
控溫方式
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條
三溫區(qū)獨(dú)立控制，帶有過熱和斷偶保護(hù)
爐管材質(zhì)
高純石英
爐管尺寸
φ60mm O.D×1300mm L
氣體通道
三通道質(zhì)量流量計(jì)
氣體量程
A：100sccm B：300sccm C：500sccm
系統(tǒng)真空
5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）
