- 磁控濺射鍍膜儀
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- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品用途：
非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優(yōu)良且具有成本效益的涂膜機(jī)，用于研發(fā)非導(dǎo)電材料薄膜。
非導(dǎo)電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格：
項(xiàng)目
明細(xì)
產(chǎn)品型號
CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
供電電壓
AC220V，50Hz
整機(jī)功率
6KW
系統(tǒng)真空
≦5×10-4Pa
樣品臺
外形尺寸
φ185mm
加熱溫度
≦500℃
控溫精度
±1℃
可調(diào)轉(zhuǎn)速
≦20rpm
磁控靶槍
靶材尺寸
直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm
冷卻模式
循環(huán)水冷
水流大小
不小于10L/Min
真空腔體
腔體尺寸
直徑φ300mm，高度500mm
腔體材質(zhì)
SUU304不銹鋼
觀察窗口
直徑φ100mm
開啟方式
頂開式
氣體控制
1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量，量程為:200SCCM
真空系統(tǒng)
配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S
膜厚測量
可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?
濺射電源
直流電源500W*2,射頻電源500W
控制系統(tǒng)
CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)
設(shè)備尺寸
600mm
× 650mm × 1280mm
設(shè)備重量
350kg
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