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本設備系統(tǒng)主要由濺射室、加熱旋轉基片臺、磁控靶組件，濺射電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)，安裝機臺等部分組成，本系統(tǒng)配有磁控靶及電源，多靶材傾斜共濺射的方式沉積薄膜，設備配置一套強磁靶，三套永磁靶，四靶磁控鍍膜儀，可用于金屬+非金屬 鈦膜、金膜、鉻膜、二氧化硅薄膜生長多層薄膜的制備，在電子領域、光學領域、有機物等領域均有應用，也可實驗室SEM樣品制備。
設備配有四個磁控靶，三套直流電源和一套射頻流電源可以分別獨立控制，，靶置于底部傾斜共濺射，靶基距自動可調，磁控靶帶有靶材原位清洗功能可用于鍍多層導電金屬膜。同時設備配置手動磁力傳遞桿，取送1片基片裝置，這樣的設計能夠減少主腔室抽放真空的次數(shù)，不僅能有效節(jié)省時間，更能保證更好的本地真空，減少污染，方便使用有效提高鍍膜質量。本設備水冷腔體，樣品臺可加熱至800攝氏度，旋轉功能.
技術參數(shù):
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供電電源 |
220, 50Hz |
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樣
臺 |
位置 |
上部 |
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直徑尺寸 |
6 英寸（兼容小尺寸基片） |
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樣品臺升降距離 |
90mm-130mm 電動升降 調整交接位置離子能量調節(jié)裝置1套 |
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可調轉速 |
0-20rpm 可調 |
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加熱溫度 |
RT~800℃ 控溫精度±1℃，采用合金加熱片加熱器（24 小時連續(xù)加熱 800 小時無故障）離子能量調節(jié)裝置 1 套，改善應力分布，有助于減少膜層開裂翹曲風險 |
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真 |
主腔體尺寸 |
D500X500 |
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送樣室 過渡傳送樣品腔體 |
300mm*220*110mm具備自動傳送樣品功能 |
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腔體材料 |
304 不銹鋼 |
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烤氣和照明 |
具備內烘烤除氣功能，具備腔外照明功能 |
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內壁處理 |
電解拋光 |
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密封方式 |
氟橡膠密封 |
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開門方式 |
手動鋁合金前開門 |
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觀察窗口 |
φ100mm（帶擋板） |
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均 |
膜厚均勻性 |
≤±5% |
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樣品傳輸 |
手動磁力傳遞桿 |
取送1片基片 |
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磁 槍 |
數(shù)量 |
1RF+3DC，配電動擋板，一套強磁靶，三套永磁靶 可以鍍金、鈦、鉻、二氧化硅以及其他任何金屬和非金屬膜層 強磁靶：1套，尺寸3英寸75mm（用于濺射磁性材料薄膜，靶材厚度2mm 范圍內），直流 永磁靶1套，尺寸3英寸75mm； 直流 永磁靶1套, 尺寸3英寸75mm 直流 射頻靶1套 尺寸3英寸75mm 射頻
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擺頭角度 |
可調角度-45~45 度 |
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濺射方向 |
向上濺射 |
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靶材平面 |
圓形平面靶 |
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靶材直徑 |
3英寸 |
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靶材厚度 |
*厚3mm |
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直 |
數(shù)量 |
3臺 |
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電源功率 |
500W |
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輸出電壓 |
0～800V |
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模式 |
電源可支持恒流、恒壓、恒功率三種模式 |
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直流電源工作壓力范圍 |
0-100pa |
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*大輸出電流 |
1A大于0.75A |
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連續(xù)工作時間 |
≥24 小時 |
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啟動時間 |
1~10S |
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射 |
數(shù)量 |
1臺 600W |
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功率 |
輸出功率：600W |
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陽極層離子源 |
數(shù)量 |
1臺 |
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功率 |
對基片進行清洗，1套，配套擋板組件，*大離子能量≥700eV； |
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膜 |
通道數(shù) |
單通道 |
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測量精度 |
0.1 ? |
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測量速度 |
100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁） |
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標準傳感器晶體 |
6MHz |
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適用晶片尺寸 |
Φ14mm |
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真 |
前級泵 |
雙極旋片泵*2套 1 套旋片真空泵抽速≥13L/S，1 套旋片真空泵抽速≥8L/S；
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渦輪分子泵 |
數(shù)量：2 1 套濺射室分子泵抽速2000L/s 1 套進樣室分子泵抽速600L/s 額定轉速：27000rpm 啟動時間：≦5min 冷卻方式：水冷 進氣接口：ISO150 出氣接口：KF40 |
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真空度 |
濺射室：≤8.0x10-6Pa(經烘烤除氣后)； 進樣室：≤6.6x10-4Pa(經烘烤除氣后)； 從大氣開始抽氣：濺射室30分鐘可達到6.6x10-4Pa |
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保壓性能 |
系統(tǒng)停泵關機12小時后真空度：≤5Pa |
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真空測量 |
復合真空計，測量范圍10-5Pa ~ 105 Pa 濺射室：1x105Pa-1x10-7Pa，進樣室：1x105Pa-1x10-5Pa，工藝薄膜規(guī) 13.3pa；
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水 |
冷卻水流速 |
CW500010L/min |
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整機功率 |
冷卻水循環(huán)機制冷量 6.2KW |
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冷卻功率 |
50W/℃ |
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水箱容量 |
9L |
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氣體控制 |
4路質量流量控制器： 氬氣：0-200SCCM（準確度：±1.5%F.S）， 氮氣：0-100SCCM（準確度：±1.5%F.S）， 氧氣：0-100SCCM（準確度：±1.5%F.S）， 甲烷氣：0-200SCCM（準確度：±1.5%F.S）， 配有混氣罐可以實現(xiàn)自動氣體攪拌裝置 1 套；
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空壓系統(tǒng) |
≥140L/min 1套 |
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控制系統(tǒng) |
由工控機和PLC實現(xiàn)對整個系統(tǒng)的控制， 有自動和手動控制兩種功能， 操作過程全部在觸摸屏上實現(xiàn)， 提供配方設置、真空系統(tǒng)、磁控系統(tǒng)、工藝系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等人機操作界面； 在工控機上可通過配方式參數(shù)設置方式實現(xiàn)對程序工藝過程和設備參數(shù)的設置PLC自動控制 10.5英寸觸摸屏 自動鍍膜程序： 具備長膜程序設置，程序設置數(shù)量>10個 具各工藝記錄長膜過程參數(shù)功能 |
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其他 |
配備工具箱1套，空氣壓縮機排氣量≥140L/min，數(shù)量≥1套；冷卻水循環(huán)機制冷 量≥6.2KW，數(shù)量≥1套。100*100mm 樣品托≥10 件，其中≥5件盲托并配陣列螺釘孔，≥5件掩膜托。外置氣體質量流量控制器≥2套，Air介質(內置氣體可切換≥98種)，量程范圍≥0～200sccm，質量流量精度≤±0.6%讀數(shù)或±0.1%滿量程(取*大值)，可現(xiàn)場編輯混合氣體≥5種，顯示屏同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度等。外置氣體質量流量控制器≥1套，帶流量顯示儀，量程范圍≥0～200sccm，準確度：≤± 1.5%F.S。 |
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閥門 |
電控氣動閘板閥 電控氣動切斷閥 電控氣動旁抽閥 |
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尺寸 |
1700mm*1000mm*1750mm |
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